省經(jīng)信廳、省財政廳公布2024年度浙江省首臺（套）裝備認(rèn)定結(jié)果，高新區(qū)（濱江）17家企業(yè)入圍。其中，我司自主研發(fā)的高精密控溫半導(dǎo)體制冷冷水機(jī)成功獲評國內(nèi)首臺（套）！這一重大成果不僅展現(xiàn)了FerroTec熱電事業(yè)在半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域卓越的創(chuàng)新實(shí)力，也成為了我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程中的一座重要里程碑。
（注：首臺（套）裝備指的是國內(nèi)實(shí)現(xiàn)重大技術(shù)突破、擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的成套設(shè)備、整機(jī)設(shè)備及核心部件、控制系統(tǒng)、基礎(chǔ)材料、軟件系統(tǒng)等）
杭州濱江2024年度省級首臺（套）裝備名單
01首臺冷水機(jī)性能優(yōu)越控溫精準(zhǔn)穩(wěn)定
冷水機(jī)10-60℃升降溫速率曲線圖
該高精密控溫半導(dǎo)體制冷冷水機(jī)采用我司自主研發(fā)的半導(dǎo)體制冷器（TEC）作為核心制冷部件。設(shè)備結(jié)構(gòu)簡約精巧，可靠性極高。能夠?yàn)槭褂谜咛峁?0-60℃的溫度設(shè)定范圍，在長時間持續(xù)運(yùn)行狀態(tài)下始終保持穩(wěn)定工況。
02首臺冷水機(jī)獲多項(xiàng)專利備受行業(yè)認(rèn)可
國內(nèi)首臺（套）高精密控溫半導(dǎo)體制冷冷水機(jī)
我司高精密控溫半導(dǎo)體式冷水機(jī)憑借其卓越的技術(shù)和可靠的性能，成功攬獲了多項(xiàng)國家級專利。在實(shí)際生產(chǎn)中，負(fù)責(zé)涂膠顯影工藝?yán)锼浒?、顯影液、噴頭等器件管路的溫度管理（短時間內(nèi)達(dá)到目標(biāo)溫度），目前已在涂膠顯影設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了批量應(yīng)用，并憑借其出色的性能表現(xiàn)，獲得了國內(nèi)主流半導(dǎo)體裝備廠家的高度認(rèn)可。這充分證明了我司冷水機(jī)的技術(shù)實(shí)力，也彰顯了其在半導(dǎo)體涂膠顯影設(shè)備溫控領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。
展望未來
我司高精密控溫半導(dǎo)體制冷冷水機(jī)獲評國內(nèi)首臺（套），是科技創(chuàng)新征程中的一個重要里程碑。未來，F(xiàn)erroTec熱電事業(yè)將繼續(xù)加大研發(fā)投入，不斷探索新技術(shù)、新工藝，持續(xù)提升產(chǎn)品性能和品質(zhì)。期待與更多行業(yè)伙伴攜手共進(jìn)，共同推動半導(dǎo)體制冷產(chǎn)業(yè)邁向新高峰，在全球半導(dǎo)體市場展現(xiàn)蓬勃向前的中國力量！